ZYGO OMP-0463AQ คู่มืออุปกรณ์เสริมเลเซอร์อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ 

Mounts

หมายเลขไซโก้	รายละเอียด
6500-0105-13	4 นิ้ว ช่องเสียบอุปกรณ์เสริม ติดตั้งกับเอาต์พุตของอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์หรือตัวรับการวัดเฟส (PMR) มีอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 4 นิ้ว ให้ความสูงเส้นกึ่งกลางลำแสง 4.25 นิ้ว (108 มม.) และให้การปรับส่วนปลายและความเอียง ±2°
6500-0111-13	6 นิ้ว ช่องเสียบอุปกรณ์เสริม ติดตั้งกับเอาต์พุตของอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์หรือตัวรับการวัดเฟส (PMR) มีอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 6 นิ้ว ให้ความสูงเส้นกึ่งกลางลำแสง 4.25 นิ้ว (108 มม.) และให้การปรับส่วนปลายและความเอียง ±2°
6500-0104-53	4 นิ้ว เมาท์แบบปรับได้ ถือชิ้นส่วนทดสอบหรือเลนส์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 4 นิ้ว ให้ความสูงเส้นกึ่งกลางลำแสง 4.25 นิ้ว (108 มม.) และให้การปรับส่วนปลายและความเอียง ±2° ยอมรับอุปกรณ์เสริมที่ตรงกัน
6500-0106-53	6 นิ้ว เมาท์แบบปรับได้ ถือชิ้นส่วนทดสอบหรือเลนส์ที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว ให้ความสูงเส้นกึ่งกลางลำแสง 4.25 นิ้ว (108 มม.) และให้การปรับส่วนปลายและความเอียง ±2° ยอมรับอุปกรณ์เสริมที่ตรงกัน
6500-0475-01	เมาท์ 5 แกน ใส่อุปกรณ์เสริมที่มีเส้นผ่านศูนย์กลาง 4 นิ้ว และให้การปรับ X และ Y 13 มม., การปรับ Z 50 มม. และการปรับปลายและความเอียง ±2° ความสูงของเส้นกึ่งกลางลำแสงคือ 4.25 นิ้ว (108 มม.) อุปกรณ์เสริม: อะแดปเตอร์ขนาด 6 นิ้ว (6500-0469-01) สำหรับใช้กับอุปกรณ์เสริมขนาด 6 นิ้ว Mount Guide (6500-0479-01) สำหรับใช้กับชุดราง
6500-0110-03	เอ็กซ์วาย เอสtage ยึดติดกับเต้ารับอุปกรณ์เสริมหรือตัวยึดแบบปรับได้ ให้การปรับ X และ Y 13 มม. ยอมรับอุปกรณ์เสริมเส้นผ่านศูนย์กลาง 6 นิ้ว
6500-0656-50	ชุดติดตั้งมอเตอร์แบบ 2 แกน ยึดติดกับตัวยึดแบบปรับได้ 4 แกนขนาด 6 หรือ 2 นิ้ว (ไม่รวมในแพ็คเกจ) ให้ทิป/เอียงอัตโนมัติ และ/หรือความสามารถว่างอัตโนมัติ รวมจอยสติ๊กและตู้อิเล็กทรอนิกส์ (ไม่แสดง) ต้องใช้เมนเฟรมที่ใช้ CAN และ MetroPro 9.0 ขึ้นไป หรือซอฟต์แวร์ Mx
6024-0161-01	ตัวยึดองค์ประกอบตั้งศูนย์ในตัว 4 นิ้ว (SCEH) ติดตั้งเข้ากับอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 4 นิ้ว จับชิ้นส่วนขนาดต่างๆ ตั้งแต่เส้นผ่านศูนย์กลาง 5 มม. ถึง 100 มม. โพสต์ที่สัมผัสกับส่วนทดสอบได้รับการแก้ไขแล้ว
6500-0107-01	ตัวยึดองค์ประกอบตั้งศูนย์ในตัว 6 นิ้ว (SCEH) ติดตั้งเข้ากับอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 6 นิ้วและให้การหมุนชิ้นส่วน จับชิ้นส่วนขนาดต่างๆ ตั้งแต่เส้นผ่านศูนย์กลาง 5 มม. ถึง 200 มม. รวมถึงโพสต์ V-block ที่วางซ้อนกันได้และโพสต์แบบตรง
6500-0130-01	ผู้ถือองค์ประกอบสากล ติดตั้งเข้ากับส่วนต่อประสานแบบดาบปลายปืนขนาด 6 นิ้ว และมีพื้นผิวที่มั่นคงสำหรับจับชิ้นส่วนทดสอบที่ไม่กลมและมีรูปร่างแปลก มีรูเกลียว UNC 1/420 รวมถึงฮาร์ดแวร์ที่ปรับได้เพื่อเก็บชิ้นส่วนทดสอบ (ตามที่ปรากฏ).
6500-0137-01	แพลตฟอร์มพีวีซี ติดตั้งเข้ากับอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 6 นิ้ว และทำหน้าที่เป็นแพลตฟอร์มชิ้นส่วนหรือฐานฟิกซ์เจอร์แบบกำหนดเองสำหรับการกำหนดค่าอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ด้านล่าง
6500-0132-01	อะแดปเตอร์อุปกรณ์เสริม (6 นิ้ว – 4 นิ้ว ดาบปลายปืน) ติดตั้งเข้ากับอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 6 นิ้ว และช่วยให้สามารถใช้อุปกรณ์เสริมขนาด 4 นิ้วได้
6500-0469-01	6 นิ้ว แผ่นอะแดปเตอร์ ช่วยให้ตัวยึดรางแบบ 4 แกนขนาด 5 นิ้วสามารถรับอุปกรณ์เสริมขนาด 6 นิ้วได้ ยึดติดกับด้านหน้าของรางยึดแบบ 5 แกนหรือตัวยึดมาตรฐานแบบ 5 แกน
6024-0517-01	อะแดปเตอร์ 25 มม./33 มม. (4 นิ้ว – 25 มม./33 มม.) ติดตั้งเข้ากับเต้ารับอุปกรณ์เสริมหรือตัวยึดแบบปรับได้ขนาด 4 นิ้ว ช่วยให้สามารถใช้อุปกรณ์เสริมขนาด 25 มม./33 มม. พร้อมดาบปลายปืน อินเตอร์เฟซ.
6024-0456-11	ชุดตัวสะท้อนแสงขนาด 4 นิ้ว ติดตั้งได้ถึง 4 นิ้ว เมาท์แบบปรับได้ ใช้เมื่อต้องมีการจัดตำแหน่งแบนเกียร์แบบละเอียด แนะนำสำหรับแฟลตเกียร์ Dynaflect อินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ที่มีตัวเลือก Ring of Fire หรือ CARS และอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ IR

อุปกรณ์เสริมเอาท์พุต

หมายเลขไซโก้	รายละเอียด
6024-0322-01	4 นิ้ว ตัวกรองการลดทอน ตัวกรองการลดทอนใช้เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการวัดค่าที่สูง ชิ้นส่วนสะท้อนแสงและช่วยสร้างคอนทราสต์ที่ดี ที่ ตัวกรองอยู่ในตำแหน่งระหว่างส่วนทดสอบและ TF มาตรฐาน ข้อบ่งชี้จำเพาะ คุณภาพ: ≤แลม/10 คลื่นส่ง (PVr) การส่งผ่าน (ตัวกรอง 4 นิ้ว): 20 ±4% @ 10⁰ มุมตกกระทบ @ แล = 632.8 นาโนเมตรผ่านเปลือกไข่
6024-0323-01	6 นิ้ว ตัวกรองการลดทอน ไส้กรองรุ่น 6 นิ้ว.
6024-0380-03	4 นิ้วถึง 6 นิ้ว Aperture Converter (แนวตั้ง) ติดตั้งเข้ากับอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 4 นิ้ว และแปลงรูรับแสงขนาด 4 นิ้ว ถึง 6 นิ้ว สำหรับอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ที่ใช้ในทางขึ้นหรือลง ปฐมนิเทศ.
6024-0380-02	4 นิ้วถึง 6 นิ้ว Aperture Converter (แนวนอน) ติดตั้งเข้ากับอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 4 นิ้ว และแปลงรูรับแสงขนาด 4 นิ้ว ถึง 6 นิ้ว สำหรับอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ที่ใช้ในแนวนอน มีขาตั้งสำหรับติดตั้งเพื่อให้มีความแข็งแกร่ง
6024-0429-01	ตัวแปลงรูรับแสง 4 นิ้วถึง 25 มม ติดตั้งเข้ากับอินเทอร์เฟซแบบดาบปลายปืนขนาด 4 นิ้ว และแปลงรูรับแสงขนาด 4 นิ้ว ถึง 25 มม. คอนเวอร์เตอร์มีช่วงโฟกัสตั้งแต่ +75 มม ถึง -275 มม.
6500-0147-13	สมัชชาพีเอ็มอาร์ ชุดประกอบ Phase Modulation Receptacle ช่วยให้สามารถใช้งาน Piezo ได้ การเปลี่ยนเฟสเชิงกลที่ขับเคลื่อนด้วย ชุดประกอบติดตั้งไปที่ เมนเฟรมอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์
1115-801-070	สายต่อขยาย PMR สายเคเบิลยาว 10 ฟุต (300 ซม.) ใช้สำหรับติดตั้งจากระยะไกล พีเอ็มอาร์
6506-0592-03	อุปกรณ์เสริมการจัดตำแหน่ง IR ให้การจัดตำแหน่งชิ้นส่วนคร่าวๆ เมื่อใช้อินฟราเรด อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ ติดตั้งเข้ากับอุปกรณ์เสริมของเมนเฟรม ช่องเสียบดาบปลายปืนขนาด 4 นิ้ว

รีโมท

หมายเลขไซโก้	รายละเอียด
6500-0559-14	รีโมทแบบมีสาย เพิ่มหรือเปลี่ยนรีโมทแบบมีสายที่มีอยู่ของคุณด้วยความแข็งแกร่งทางอุตสาหกรรมนี้ ระยะไกล. คุณสมบัติ จัดตำแหน่ง/Viewปุ่มวัด โฟกัส ซูม และแหล่งที่มา
6500-0559-13	ชุดรีโมทไร้สาย เพิ่มรีโมทไร้สายให้กับระบบ ชุดนี้ประกอบด้วยรีโมทแบบมีสาย พร้อมรีโมทไร้สาย รีโมทไร้สายมีประมาณ 100 ช่วงฟุต รีโมทแบบมีสายทำหน้าที่เป็นเสาอากาศ เข้ากันได้กับ เมนเฟรมที่ใช้ CAN
1115-800-345	สายต่อขยายระยะไกล สายเคเบิลยาว 10 เมตรนี้ช่วยให้คุณใช้รีโมทแบบมีสายได้กว้างขึ้น ระยะห่างจากเมนเฟรม

การแยกการสั่นสะเทือนและตาราง

หมายเลขไซโก้	รายละเอียด
6090-0152-01	ท็อปหินแกรนิต เฉพาะท็อปหินแกรนิตแนวนอนเท่านั้น ไม่มีตัวแยก ขนาด 96 x 30 x 6 นิ้ว
6068-0405-01 (1/4-20 holes) 6068-0405-01M (รู M6)6068-0405-01N (ไม่มีรู)	โต๊ะปรับแสงสแตนเลส 8 ฟุต โต๊ะสแตนเลสแนวนอนขนาด 8 ฟุตพร้อมเสาแยกขนาด 28 นิ้วพร้อมล้อเลื่อน XNUMX ตัว แยกอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ออกจากการสั่นสะเทือนภายนอก มีอยู่ มีหรือไม่มีรู ขนาด 96 x 36 x 8 นิ้ว
6068-0405-02 (1/4-20 holes) 6068-0405-02M (รู M6) 6068-0405-02N (ไม่มีรู)	โต๊ะปรับแสงสแตนเลส 10 ฟุต โต๊ะสแตนเลสแนวนอนขนาด 8 ฟุตพร้อมเสาแยกขนาด 24 นิ้วพร้อมล้อเลื่อน XNUMX ตัว แยกอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ออกจากการสั่นสะเทือนภายนอก มีอยู่ มีหรือไม่มีรู ขนาด 120 x 48 x 12 นิ้ว
1840-700-104	ระบบแยกและเวิร์คสเตชั่น ระบบแยกที่มีพื้นผิวการทำงานติดกับอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ในรูปแบบแนวตั้ง แยกอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ออกจากการสั่นสะเทือนภายนอก ถ่วงน้ำหนักเพื่อประสิทธิภาพสูงสุด สำหรับใช้กับชุดอุปกรณ์แนวราบแนวตั้ง 1 ม. และ 1.5 ม. เท่านั้น ขนาด 48 x 36 x 30 นิ้ว
1840-700-015	โต๊ะสแตนเลสแบบแยกส่วน ระบบแยกพร้อมโต๊ะสแตนเลสเพื่อรองรับอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ในแนวตั้ง แยกอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ออกจาก การสั่นสะเทือนภายนอก ถ่วงน้ำหนักเพื่อประสิทธิภาพสูงสุด ขนาด 24 x 24 x 20 นิ้ว
1840-700-118	โต๊ะสแตนเลสแบบแยกส่วน ระบบแยกพร้อมโต๊ะสแตนเลสเพื่อรองรับอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์ในแนวตั้ง แยกอินเตอร์เฟอโรมิเตอร์ออกจาก การสั่นสะเทือนภายนอก ถ่วงน้ำหนักเพื่อประสิทธิภาพสูงสุด สำหรับใช้กับชุดแนวตั้ง 2 ม. เท่านั้น ขนาด 30 x 30 x 20 นิ้ว
6300-2130-01	โต๊ะทำงาน โต๊ะเดี่ยวที่มีความสูงการทำงานขนาดเล็กสำหรับคอมพิวเตอร์ ให้พื้นผิวการทำงานใกล้กับเครื่องมือ มีชั้นวางหนึ่งชั้นสำหรับเก็บส่วนประกอบต่างๆ ขนาด 34 x 28 x 35 นิ้ว
6500-0179-02	ชุดติดตั้งโต๊ะแบบออปติคัล อุปกรณ์ยึดสำหรับโต๊ะแนวนอนที่มีรูเกลียว ยึดเมนเฟรมอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์เข้ากับโต๊ะออปติคอล รองรับ ทั้งภาษาอังกฤษ 1 นิ้ว และเมตริก ระยะห่างรู 25 มม.

รัศมีความโค้งแนวนอน

รายละเอียด
มาตรวิทยารัศมีแนวนอนต้องใช้รางและรางยึด 5 แกนที่สอดคล้องกัน ตัดสินใจระหว่างโซลูชันที่เข้ารหัสหรือแบบอินเทอร์เฟอโรเมตริก จากนั้นเลือกความยาวรางที่ต้องการ และเลือกว่าตัวยึดเป็นแบบแมนนวลหรือแบบมอเตอร์
โซลูชันที่เข้ารหัสให้การตอบสนองตำแหน่งแกน z ที่แม่นยำ (1 µm) ไปยังซอฟต์แวร์โดยตรงผ่านตัวเข้ารหัส
โซลูชันอินเทอร์เฟอโรเมตริกให้การตอบสนองตำแหน่งแกน z ที่แม่นยำเป็นพิเศษ (80 นาโนเมตร) ไปยังซอฟต์แวร์โดยตรงผ่านอินเทอร์เฟอโรมิเตอร์การวัดการเคลื่อนที่ (dmi)
การกำหนดค่ารัศมีที่เข้ารหัสเมานท์แบบแมนนวลเข้ากันได้กับซอฟต์แวร์ MetroPro (9.0 หรือใหม่กว่า) หรือ Mx และแสดงข้อมูลตำแหน่งบนการอ่านข้อมูลดิจิทัล นี่เป็นการกำหนดค่าเดียวที่ไม่ต้องใช้อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์แบบ CAN
การกำหนดค่ารัศมีอินเตอร์เฟอโรเมตริกที่ติดตั้งด้วยตนเองต้องใช้อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์แบบ CAN และสามารถทำงานกับซอฟต์แวร์ MetroPro (9.0 หรือใหม่กว่า) หรือ Mx
การกำหนดค่ารัศมีแบบใช้มอเตอร์ทั้งหมดต้องใช้อินเทอร์เฟอโรมิเตอร์แบบ CAN และซอฟต์แวร์ Mx รุ่นเครื่องยนต์มีความสามารถในการหยุดอัตโนมัติ
ทางรถไฟ 
รางทำจากอลูมิเนียมอัดขึ้นรูปคุณภาพสูง รางจะยึดและจัดแนวกับเมนเฟรมด้วยอินเทอร์เฟซแบบ Ball Mount หรือสามารถติดตั้งเข้ากับโต๊ะออพติคอลได้โดยตรง
รางอินเทอร์เฟอโรเมตริกมีสเกลไม้บรรทัดไล่ระดับ 1 มม. รางเข้ารหัสมีแถบตัวเข้ารหัสและได้รับการปรับเทียบความเป็นเชิงเส้นให้น้อยกว่า 50 µm เหนือความยาวของราง
หมายเลข Zygo สำหรับรางจะแสดงรายการพร้อมกับการกำหนดค่ารัศมี
 การเลือกโต๊ะออฟติคัล
แนะนำให้ใช้โต๊ะปรับแสงขนาด 10 ฟุตสำหรับโซลูชันความโค้งในรัศมีแนวนอนส่วนใหญ่โดยใช้รางขนาด 1.5 ม. หรือ 2 ม.
จำเป็นต้องใช้โต๊ะขนาด 12 ฟุต เมื่อใช้เมนเฟรมยาว 6 นิ้วพร้อมรางยาว 2 ม.
สามารถใช้โต๊ะขนาด 8 ฟุตกับเมนเฟรมขนาด 4 นิ้ว และรางขนาด 1 ม. หรือรางเข้ารหัสขนาด 1.5 ม. หากใช้ชุดตีนผีรางข้างที่เป็นอุปกรณ์เสริม (6500-0340-01)หากต้องการความช่วยเหลือในการเลือกรัศมีของส่วนประกอบส่วนโค้งและทรงกลมการส่งผ่านที่สอดคล้องกัน โปรดติดต่อ ZYGO
รางยึด 5 แกน
รางยึดแบบ 5 แกนมีระยะ 4.25 นิ้วที่สะดวกสบาย
ความสูงของลำแสง (108 มม.) และรับอุปกรณ์เสริมขนาด 4 นิ้ว สไลด์เมาท์แบบแมนนวลบนแผ่นอิเล็กโทรด แท่นยึดแบบใช้มอเตอร์มีแกนแบบใช้มอเตอร์ใน XYZ และอยู่บนลูกกลิ้ง
เมาท์ทั้งหมดช่วยให้การแปลระหว่างตำแหน่งแคทอายและคอนโฟคอลเป็นเรื่องง่าย และมี cl ที่ปลดเร็วamp ที่รับประกันการจัดตำแหน่งกับรางและแกนแสง
เมานต์ส่วนเสริม:
ที่ยึดองค์ประกอบตั้งศูนย์ในตัว 4 นิ้ว 6024-0161-01
แผ่นอะแดปเตอร์ 6 นิ้ว 6500-0469-01
ที่ยึดองค์ประกอบตั้งศูนย์ในตัว 6 นิ้ว 6500-0107-01

การกำหนดค่ารัศมีความโค้ง